製品名:導電性粒子顕微鏡
製品型番:PZ-JTM-5040 H
製品概要:主にLCD、PDP、PCBなどの関連する光電産業に用いられ、その研究開発、製造に必要な検査設備を提供する。OLB圧着粒子の分布、液晶パネル表面に付着した異物、液晶パネルの引っかき傷の状況を観察し、導電粒子の大きさ、数量などを測定する機能がある
製品特徴:
導電性粒子顕微鏡映像と目視を両立した高精度・高効率計測器である。それはテレビイメージングと目視光学の2セットの照準システムを持ち、光、機械、電気、計算、映像を一体化した測定型金相顕微鏡である。この器具は広く電子部品、精密金型、精密工具、プラスチック、PCB加工などの方面に用いられ、座標測定として使用できるだけでなく、接眼鏡標準分割板を顕微増幅比較測定として使用でき、ねじのピッチ、外径、歯角などのワークの寸法あるいは外形輪郭、ACF導電粒子の形状と瑕疵観察を測定し、長さ、角度測定のほか、観察顕微鏡としても使用できる。機械、電子、計器、時計、軽工業、プラスチック業界であり、大学、研究所と計量検定部門の計量室、実験室はすでに作業場に不可欠な計量検査設備の一つを生産している。
1.人間工学設計準則に適合し、操作測定が便利
2.テーブルのワンタッチ空気圧片手の快速移動操作
3.Z軸オートフォーカスが可能
4.偏光及びDIC検出機能を有する
5.受動式制振装置を採用し、機械全体の精度安定性を高める
6.QMS 3 D-Mソフトウェアを自主開発し、高精細輸入1/2'カラーカメラ
7.レーザポインタにより被測定ワークの具体的な位置を探すことができ、複雑なワークの測定に適応することができる
8.高度補助測定が可能
9.Z軸格子スケール分解能0.1μm
10.同軸光/底光測定
11.白色光ナノ検出モジュールと組み合わせてナノスケールの厚さを測定することができる
仕様パラメータ:
規格型番 |
PZ-5040H |
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ワークベンチ |
ガラス台寸法(mm) |
570*470 |
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運動ストローク(mm) |
500* 400 |
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Z軸電動昇降ストローク(mm) |
200 |
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ラスタゲージ分解能力(μm) |
0.1μm |
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X、Y座標示値誤差(μm) |
2.5+ L/75 (L長さ、単位を測定するにはmm) |
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映像システム |
カラー1/2”CCDカラーカメラ:、結合測定ソフトウェアQMS3D-M |
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顕微鏡システム |
三目頭 接眼レンズ:10倍数 フィルター:黄、緑、青、白 測定モード:反射、透過、偏光 5穴対物レンズ変換レンズ |
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照明システム |
透過照明光源とうかしょうめいこうげん:白色光はくしょくこうLED、輝度調整可能 同軸照明光源:12V 100Wハロゲンランプ、輝度調整可能 |
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対物レンズ | ||||||
倍率 |
5X |
10X |
20X |
50X |
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さぎょうきょり(mm) |
18.0 |
15.0 |
4.5 |
11.0 |
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ぜんぞうふく倍率 |
目視 |
50X |
100X |
200X |
500X |
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19動画リスト |
301.625X |
603.25X |
1206.5X |
3016.25X |
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高さ測定モジュール (オプション) |
白色光干渉高さ測定モジュール(M10-CA),高さ測定分解能0.5 μm (オプション):倍率10X、作業距離5mm、光学分解能2um |
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その他のパラメータ | ||||||
外形寸法(mm) |
1270*1150*1860 |
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けいきじゅうりょう(kg) |
850 |
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電力消費量 |
~220V 50/60Hz < 60W(コンピュータを含まない) |
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